薄膜铌酸锂正经历从国防领域向商业光子学领域的战略转型。凭借其低电压驱动和低热量损耗的调制技术,TFLN正逐渐成为下一代人工智能互连的首选方案。长期以来,这种材料仅限于实验室演示和特定国防应用,如今正迅速成为光子集成路线图中下一代商业材料平台的代表。越来越多的半导体工程师在器件性能测试、数据手册和出版物中看到了它的身影。得益于新供应商的涌现,他们正努力满足芯片制造商对质量和产量的严苛要求,TFLN技术已证实能够实现早期支持者所承诺的性能。如今,半导体行业面临的核心问题转变为:TFLN能够催生哪些新的器件设计?它在技术成熟度曲线上处于什么位置?供应链又将如何发展以满足日益增长的需求?对于负责下一代人工智能基础设施、安全通信和高带宽互连的设计人员来说,实际问题已不再是“是否要评估TFLN”,而是应该向准备满足这一需求的晶圆供应商提出什么问题。

作为光子器件设计的材料平台,TFLN面临着硅光子学和磷化铟的竞争。硅光子学通过载流子注入或耗尽来调制光,其调制速度从根本上受到掺杂硅片和PN结的RC时间常数的限制,目前最先进的硅调制器3dB带宽仅约70GHz。磷化铟利用电吸附,虽在高调制速度下性能更佳,但也带来了热管理难题,且由于复杂的外延堆叠和小尺寸晶圆,大规模制造成本依然高昂。相比之下,TFLN利用泡克尔斯效应,施加电场可直接改变铌酸锂晶体的折射率,调制过程中无需载流子移动,不会产生热量,响应极快。目前市售的TFLN调制器可在低于2V的驱动电压下工作,电光带宽超过110GHz。这一低于2V的驱动电压至关重要,因为8nm及以下的先进CMOS工艺节点无法提供远高于1V的电压。因此,硅光子学调制器需要单独、更高电压的驱动IC,而这些驱动IC又需要额外的硅面积、更高的功耗和更复杂的封装。TFLN调制器可以直接由先进工艺节点的CMOS驱动,这为共封装光学架构提供了结构优势。过去二十年,硅光子学在集成光子学领域经历了加速增长,但随着每一代产品带宽的提升,它也越来越接近硅的物理极限。向TFLN的过渡并非要完全取代硅光子学,而是要认识到场驱动调制在哪些方面提供了更优的解决方案。

TFLN在数据中心互连的高速收发器和共封装光器件领域拥有最明确的商业前景。市场分析预测,未来几年,砷化镓和磷化铟收发器的市场份额将被硅封装和TFLN收发器蚕食,而线性可插拔光器件和共封装光器件的普及将加速这一转变。与此同时,NVIDIA对Coherent和Lumentum的数十亿美元投资也凸显了人工智能基础设施对光子容量的迫切需求。HyperLight宣布与联华电子及其光子子公司Wavetek建立战略合作伙伴关系,旨在建立HyperLight TFLN Chiplet平台的大规模代工生产体系,这标志着TFLN的商业化准备已然成熟。对于正在评估TFLN的开发工程师而言,有几个实际问题值得注意:TFLN可以使用半导体行业现有的制造基础设施进行加工,但铌酸锂薄膜本身需要采用特殊的工艺,标准的干法刻蚀会产生侧壁粗糙度和副产物的再沉积,业界已开发出混合波导设计和专门的刻蚀技术作为变通。因此,现代晶圆代工厂可以实现TFLN的大批量生产,但它不像硅光子技术那样可以直接与CMOS兼容。此外,TFLN本身不发光,生产设计通常需要将TFLN与InP混合以实现激光光源,这一集成步骤虽然已相当成熟,但仍是设计中需要考虑的因素。尽管存在这些集成方面的考虑,TFLN正处于一个转折点,基于TFLN的收发器目前正处于试点和小批量商业生产阶段,代工生态系统正在显著增长,未来两到三年内,TFLN有望迅速从一种新兴材料平台转变为高速数据通信系统的主流解决方案。

在微波光子学领域,利用光链路传输和处理微波信号的技术已在军事通信中应用多年。将射频信号转换为光信号可以消除电互连易受电磁脉冲或电子干扰的影响。块状铌酸锂调制器已用于此用途一段时间了,但TFLN为该应用引入了调制速度,使系统能通过快速光子下变频访问更高的微波频段。近期经同行评审的研究表明,基于TFLN的频率下变频系统可在38至40GHz射频范围内工作,并具有强大的镜像抑制能力,广泛应用于雷达、电子战和卫星通信。对于正在构建宽带电子战接收机或信号情报平台的系统设计人员而言,能够将更多频谱纳入光子处理是一项巨大的优势。TFLN在芯片级的精确相位控制也为相干光束合成平台奠定了基础。该技术是一种将多个激光输出相位锁定成单个高功率相干光束的方法,在掺铒TFLN波导放大器中进行的芯片级演示验证了该方法,但高功率商业部署仍处于早期阶段。即便如此,TFLN能够以集成相位控制取代笨重的自由空间光学组件,这为相控阵波束成形、卫星馈线链路、自由空间光通信和定向能量应用带来了潜在的优势。

在量子光子学领域,TFLN独特的材料特性展现出硅和InP无法比拟的全新能力。尤其当用于制造晶圆的铌酸锂晶体具有高纯度和极低的杂质含量时,这种优势更为显著。铌酸锂强大的非线性光学响应支持片上纠缠光子对的生成以及光频之间的转换——这两者都是量子信息系统的核心组成部分。其超低损耗波导能够保持量子比特的相干性,并且其透明窗口覆盖可见光到中红外波段,从而与量子发射器实际使用的波长范围兼容。研究已证实TFLN是领先的集成量子光子学平台,可用于纠缠生成和量子频率转换。随后,商业活动也随之展开。Quantum Computing Inc.在亚利桑那州坦佩市运营着一家专门的TFLN晶圆代工厂,该工厂专门面向量子计算及相关应用。另一项值得关注的行业进展是,Xanadu宣布与HyperLight建立合作伙伴关系,以在下一代光子量子计算机中利用TFLN平台。尽管量子应用不如数据通信领域的应用成熟,但这些商业发展表明TFLN正在成为量子硬件路线图中的积极推动者,并且该平台与该领域的关联性将继续增长。

TFLN晶圆目前已投入生产,并已开始发货、应用于试点产品设计以及集成到商业原型系统中。目前的瓶颈不在于材料本身是否有效,而在于供应能否满足行业快速扩张所需的质量和数量需求。目前大多数TFLN晶圆的尺寸为4到6英寸,8英寸晶圆是未来的目标尺寸。随着晶圆面积的增大,尺寸缩小带来了重大的制造挑战,包括材料纯度、位错控制和分层防止。除了直径之外,关键规格还包括晶体取向、铌酸锂薄膜厚度、总厚度变化、缺陷密度(这直接影响成品器件的光损耗和信号失真)、平整度和翘曲公差以及氧化硅厚度。最后一个参数决定了客户如何在TFLN平台上形成波导。标准衬底是绝缘体上硅,但氮化硅衬底也可以支持需要在450至1100纳米波长范围内工作的波导应用,而SOI无法满足该波长范围的需求。TFLN生产生态系统仍在发展完善中,工艺设计套件仍然有限,半导体设计人员用于认证晶圆供应商以进行设计导入的资质里程碑尚未针对TFLN进行广泛规范。芯片制造商需要在未来几年与晶圆供应商密切合作,共同制定这些里程碑。

对于首次考虑TFLN平台的半导体和光子工程师而言,有三个方面值得尽早关注。首先是供应链方面:晶圆将来自哪里?供应商是否具备满足设计导入阶段后两到三年所需产量的资质?供应商是否拥有足够的垂直整合能力,能够从晶锭到成品晶圆全程把控质量?其次是关于工艺成熟度:供应商的规格在缺陷密度、总厚度偏差和平整度方面如何?目前有哪些晶圆直径可供选择?8英寸晶圆的发展路线图是什么?除了标准SOI之外,还有哪些衬底选项?最后是关于集成准备:您正在考虑的TFLN架构有哪些代工厂可选方案?现有参考设计如何处理与InP的混合集成?您的目标应用类别的PDK生态系统是怎样的?TFLN不会在所有应用中取代硅光子器件,也不应该这样做。但对于下一代人工智能基础设施和安全通信所需的高带宽、低功耗、可扩展架构而言,TFLN提供了真正差异化的开关速度、驱动电压和集成密度组合。

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