下一代HBM(高带宽内存)的竞争焦点,已从单纯的DRAM芯片性能提升,全面转向了先进封装工艺的比拼。据相关媒体报道,SK海力士在下一代HBM混合键合技术的开发中遭遇了瓶颈,而三星电子据称已开始向客户交付采用该技术的样品。如果这一消息属实,三星有望在下一代HBM的先进封装技术验证环节抢占先机。不过,这一信息目前仅基于技术人员采访及二手报道,并未得到两家公司的官方确认,且未明确涉及具体的HBM世代、堆叠层数及客户信息,因此尚不足以断定双方存在实质性的研发差距,更不能据此认定三星已在下一代HBM竞争中全面领先。

值得注意的是,SK海力士在混合键合技术上的进展,并不等同于其下一代HBM产品的开发进度。6月18日,SK海力士宣布已向主要客户交付12层HBM4E样品,容量为48GB,采用其现有的Advanced MR-MUF封装技术。该公司表示,相较上一代产品,这款产品的热阻改善了17%。这意味着,即使混合键合开发面临困难,SK海力士仍在沿用现有封装路线推进下一代HBM产品。

当前业界真正需要关注的问题是:当HBM向更高堆叠层数发展时,传统封装工艺在性能、散热和封装高度方面还能满足多大要求,而混合键合技术又需要跨越哪些制造门槛才能实现规模化生产。

混合键合为何成为下一代HBM的重要方向?HBM通过垂直堆叠多颗DRAM芯片,为GPU和AI加速器提供高带宽内存。随着AI模型规模的不断扩大,HBM不仅需要提高容量和带宽,还必须在有限的封装空间内控制功耗与发热。目前,传统HBM堆叠通常采用微凸块连接上下层芯片,并通过相关填充和保护材料工艺处理芯片间隙。SK海力士的Advanced MR-MUF便是这一技术路线的代表,通过优化微凸块连接和液态保护材料的填充、固化工艺,改善了堆叠结构的可靠性与散热表现。

混合键合技术则试图进一步减少对微凸块的依赖。该技术直接连接上下芯片表面的铜互连结构,同时使周围的介电绝缘层相互接合,从而减少传统互连结构占用的空间。其优势在于更小的互连间距和更短的电气连接距离,有望提升互连密度、降低信号传输损耗,并为更高密度的DRAM堆叠创造条件。减少接合界面中的部分中间材料,也有望改善热传导。随着HBM从12层向16层乃至更高层数发展,芯片之间的空间限制和散热压力将更加突出,混合键合的潜在价值也随之提高。

三星已于3月17日在GTC相关活动中介绍了混合铜键合技术HCB,并将其定位为支持16层及以上下一代HBM的技术方案。三星表示,与传统热压键合相比,HCB有望将热阻降低20%以上。这一技术方向与此次报道中的样品进展说法相呼应,但技术展示并不等同于产品已经量产。此外,三星所公布的热阻改善幅度,也不能直接与SK海力士HBM4E相较上一代改善17%的数据进行排名,因为前者比较的是接合方式,后者比较的是不同世代产品,两者的比较基准并不相同。

真正的难点在于制造。让接合工艺稳定重复,混合键合的制造难度远不止于将两颗芯片精准对准并贴合。根据应用材料公司的工艺解读,化学机械研磨是关键环节之一。制造商需要精确控制铜焊盘与周围介电层的高度关系,使接合表面达到纳米级的平坦度要求。如果铜表面凹陷过深,上下铜结构可能无法充分接触;如果铜表面突出过多,则可能干扰介电层接合,增加界面缺陷风险。因此,接合表面的平坦度、铜焊盘高度以及整个区域的一致性,都必须得到严格控制。

与此同时,研磨和芯片切割过程中产生的颗粒、表面污染,以及活化后表面性质随时间发生的变化,都可能影响接合质量。这要求制造商对清洗、表面处理、环境洁净度和接合时间窗口进行协同管理。换句话说,混合键合不是采购一台高精度接合设备就能解决的问题,研磨、清洗、检测、芯片对准和接合等环节必须形成稳定的工艺链,才能将实验室中的成功接合转化为可重复的量产结果。

HBM本身的结构特性又进一步增加了难度。为了在提高堆叠层数的同时控制封装高度,DRAM芯片需要不断减薄。但芯片越薄,越容易受到机械应力影响而发生翘曲,进而增加位置偏差和接合缺陷的风险。随着堆叠层数增加,多个接合界面也意味着更多潜在的失效环节。不过,目前没有可靠信息表明SK海力士具体在哪一道工序遇到困难。CMP、表面污染和芯片翘曲是混合键合普遍面临的制造挑战,不能直接认定为此次开发受阻的原因。

从技术验证到量产,还必须跨越良率这道关。混合键合的产业化,取决于具体的芯片接合方式。imec此前展示过晶圆对晶圆接合技术,即将两片晶圆整体对准并贴合。这种方式能够一次处理大量芯片,但如果存在缺陷的芯片也被一并接合,可能影响整体良率。另一种方式是芯片对晶圆接合,即先筛选合格芯片,再将其逐一放置到目标晶圆上完成接合。其优势是能够优先使用经过检测的良品芯片,但逐颗拾取、定位和接合也会带来生产效率方面的挑战。SK海力士新闻中心刊载的仁荷大学教授Seunghwan Joo的相关解读指出,芯片对晶圆接合正朝着HBM商业化应用方向发展。这说明,晶圆级实验所证明的接合精度,与HBM多层堆叠所要求的良率和生产效率,并不是同一个问题。

设备厂商也在围绕这一制造难题完善工艺链。10月1日,应用材料公司与Besi宣布扩大双方在先进封装领域的合作。双方将应用材料公司在研磨、清洗和计量检测等方面的工艺技术,与Besi的芯片放置及接合技术结合,相关成果之一是集成式芯片对晶圆混合键合系统Kinex。这一合作体现出,混合键合的竞争正在从单一设备的精度,延伸至接合前后的工艺整合能力。不过,现有资料并未表明三星或SK海力士已经采用该系统。

对HBM制造商而言,真正的挑战是让每一个接合界面都保持稳定,并在多层堆叠后仍能满足产品可靠性要求,同时将生产效率和制造成本控制在可接受范围内。样品能够成功接合,只是迈出了第一步。三星的样品优势,能否转化为量产竞争力?如果此次报道中的信息属实,三星已经向客户交付混合键合HBM样品,那么其优势首先体现在研发和客户验证进程上。更早进入客户测试,有助于提前发现接合可靠性、散热和系统集成方面的问题,为后续产品开发积累经验。但样品交付与量产之间仍有距离。客户认证进度、批量生产良率、制造成本和可供货规模,才是判断技术优势能否转化为商业竞争力的关键指标。

与此同时,SK海力士已通过Advanced MR-MUF推进HBM4E样品交付,说明传统封装路线仍在发挥作用。新型混合键合并不意味着现有工艺会立即退出市场,两条路线可以并行发展,具体选择取决于产品性能需求、制造能力和量产经济性。因此,当前还不能仅凭一则采访报道,断定三星已经全面领先,也不能将SK海力士在混合键合上的困难等同于其HBM产品开发停滞。下一阶段,更值得关注的是双方分别在哪一代HBM、多少层堆叠的产品上导入混合键合,以及客户认证、量产时间表和良率表现是否出现实质性差异。HBM竞争正在从单纯提高堆叠层数,转向内存设计、接合工艺、散热管理与先进封装的系统性竞争。混合键合有望进一步释放高密度堆叠的潜力,但最终决定其产业价值的,不是能否成功制造一批样品,而是能否以稳定的良率、合理的成本和足够的产能,将技术优势转化为持续交付能力。

其实在这个新闻背后,还隐藏了另一层次的信息,那就是三星在HBM市场份额上的大幅提升。首先,我们必须承认,在目前以HBM3E和HBM4为主导的HBM出货量中,SK海力士以50%的市场份额位居领先制造商。但我们也看到,SK海力士的市场份额略有下滑,此前该公司占据了全球HBM内存支出占比高达64%。然而,据Counterpoint Research的数据显示,三星HBM市场的份额从第一季度的21%上升至第二季度的33%,这就将SK海力士的占比拉到了30%。预计随着下半年HBM4出货量的增加,这一份额还将进一步扩大。市场预期,到2027年,三星HBM产品的价格将比今年翻一番以上,其产品合约价格在包括SK海力士和美光在内的三大内存制造商中最高。KB Securities的数据显示,到2027年,HBM4产品在三星HBM销售额中的占比预计将从今年的40%翻一番,达到80%。由此可见,三星似乎在HBM领域打了一场漂亮的翻身仗。

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