截至收盘，科创板芯片板块表现分化。上证科创板芯片设计主题指数上涨0.3%，上证科创板芯片指数微涨0.01%，而中证芯片产业指数下跌0.3%，中证半导体材料设备主题指数下跌0.8%。
据同花顺iFinD数据，易方达半导体设备ETF今日获净申购1.53亿份。
消息面上，国产极紫外EUV光源系统样机在第二十六届中国国际工业博览会上首次公开亮相，国产化率达90%，技术路线与国际领先厂商保持一致。作为7nm及以下先进制程芯片制造的三大核心零部件之一，EUV光源此前长期受海外垄断。此次样机的亮相，被视为国产高端光刻机实现“从0到1”突破的关键工程验证。