截至收盘，中证半导体材料设备主题指数下跌0.6%，中证芯片产业指数及上证科创板芯片指数跌幅均为2.2%，上证科创板芯片设计主题指数跌幅达3.7%。资金流向方面，同花顺iFinD数据显示，截至上一交易日，半导体设备ETF易方达近一月净流入超1亿元，在同类产品中表现居首。
消息面上，全球最大半导体设备制造商ASML宣布，将于2027年1月起将供应韩国市场的光刻机替换零部件价格统一上调10%，此次涨价范围涵盖EUV及DUV光刻机的全部零部件。分析人士认为，零部件提价反映出设备链供需偏紧，这将进一步强化半导体设备与零部件的国产化逻辑。